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- 碳化硅产品

● 硅基娱乐、化合物娱乐、第三代娱乐等领域
● EPI , PVD/CVD , RTP , etc
● 多制程核心耗材零部件

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产品描述
参数
产品类别 应用行业 工艺制程 产品
 石墨基-SiC 硅基娱乐 硅外延
光电 MOCVD
块体沉积-Sic 硅基娱乐 刻蚀
烧结体-SiC  硅基娱乐 炉管等
三代娱乐 碳化硅外延
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