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    部件 尺寸 年产能
    电极 OD320-450mm Thickness10-25mm 15000
    OD320-450mm
    Thickness10-25mm
    C-Shroud OD530
    Thickness:30-65mm    		 3600
    Outer Ring OD350-450
    Thickness:10-25mm    		 12000
    Focus Ring OD320
    Thickness: 3-7mm    		 18000
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